報 告 人：談宜東

報告題目：激光干涉超精密測量技術、儀器及應用

報告時間：2024年5月23日（周四）下午2：30

報告地點：物理與電子工程學院428會議室

主辦單位：物理與電子工程學院、科學技術研究院

報告人簡介：

談宜東，清華大學精密儀器系副主任，長聘教授。國家級人才，教育部創新團隊負責人，英國皇家學會“牛頓高級學者”，國家自然科學基金優秀青年基金獲得者。主要從事激光技術和精密測量方面的教學科研工作。曾在美國加州理工學院做訪問學者。

作為負責人承擔基金委、教育部、科技部、裝發、科工局和軍科委等國家級項目40余項。發表SCI論文100余篇，授權發明專利35項，國際會議Keynote/Plenary/Invited報告40余次。先后獲日內瓦國際發明展金獎，國內省部級科技獎勵6項（一等獎2項）。擔任中國電子信息行業聯合會光電產業委員會副會長、中國儀器儀表學會科普工作委員會副主任、中國儀器儀表學會機械量測試儀器分會常務理事等。擔任《中國激光》《紅外與激光工程》《應用光學》《計測技術》青年編委，《激光技術》《激光與光電子學進展》編委。

報告摘要：

“沒有測量就沒有科學”，對物理量越來越精確的測量已成為現代科學和技術領域孜孜追求的目標。激光干涉超精密測量具有可溯源，納米甚至皮米高分辨力，以及數米、幾公里甚至上千公里的超長測量范圍等突出優點，在IC裝備、微納制造、引力波探測等先進技術和前沿科學等重大領域，應用廣泛。本次報告圍繞IC裝備、航空航天和先進制造中的精密測量需求，介紹了清華大學激光與精密測量應用團隊的最新成果和進展，包括：極低非線性誤差的激光干涉超精密測量原理、技術及儀器，并介紹了光刻機用干涉儀光源成規模國產替代應用；具有超高靈敏度的激光回饋干涉測量原理、技術及系列儀器，介紹了在若干國家重大工程中的應用。最后總結和展望了該領域的未來發展趨勢。